405 低圧触針式機上形状測定システムの開発 : 低圧接触式プローブの高精度化(OS-12 ELID加工)

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概要

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• Ultraprecision optical components require ultra-fine smooth surface quality of sub-nanometer or sub-angstrom in Ra. To achieve these requirements, ultaprecision on-machine measuring system in very important, by which the profile measurement and evaluation is conducted on the machine, the form accuracy by the compensating machining when the form accuracy in not enough. So, on-machine profile measuring system with contact-type probe has been developed.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-24

著者

• 上原 嘉宏

  理研

• 大森 整

  理研

• 森田 晋也

  理研

• 林 偉民

  理研

• 渡邉 裕

  (独)理化学研究所

• 森田 晋也

  理化学研究所

• 林 偉民

  秋田県立大学

• 渡辺 裕

  理研

• 浅見 宗明

  新世代

• 森田 晋也

  (独)理化学研究所

• 渡邊 裕

  理研

• 林 偉民

  秋田県立大学 システム科学技術学部機械知能システム学科

• 大森 整

  (独)理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室

• 渡辺 裕

  弘前大・理工

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