401 デスクトップ研削システムのための新しいELID研削技術の開発(OS-12 ELID加工)
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概要
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A demand for the mold of micro-lens is on the increase. As a system for the machining of micro-lens mold, a desk-top machine tool is being expected. But, when the grinding wheel with the small diameter is used, the ELID grinding method has a problem about the installation setting place of the negative electrode along the wheel. In this research, we developed a system to electrolyze the small type ELID grinding wheel. This system was realized ELID grinding processing without using the negative electrode along the wheel, for the purpose of machining of micro lens mold. That result succeeded in the development of the SLID grinding system which uses nozzle type electrodes (new electrode less ELID grinding method). Then, the processing using this system could get the mirror surface of Ra 12nm without electric discharge scar. There was a small abrasion of SLID grinding wheel and abundant volume of material removed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
-
上原 嘉宏
理研
-
成瀬 哲也
(独)理化学研究所
-
大森 整
(独)理化学研究所
-
片平 和俊
(独)理化学研究所
-
渡邉 裕
(独)理化学研究所
-
林 偉民
秋田県立大学
-
渡辺 裕
理研
-
上原 嘉宏
理化学研究所
-
成瀬 哲也
理化学研究所
-
三石 憲英
新世代加工システム(株)
-
林 偉民
(独)理化学研究所
-
渡邉 裕
理化学研究所
-
三石 憲英
(独)新世代加工システム
-
林 偉民
秋田県立大学 システム科学技術学部機械知能システム学科
-
大森 整
(独)理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
-
成瀬 哲也
(独)理化学研究所基幹研究所
-
渡辺 裕
弘前大・理工
-
三石 憲英
新世代加工システム
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