524 ELID研削面の超精密ポリシングの検討(OS11 研削・砥粒加工)
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概要
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This paper describes an ultra precision polishing method of aspherical mirrors, and the fundamental research polishing characteristics. The aspherical mirror with a diameter about 30mm made of fused silica glass and CVD-SiC which ELID (electrolytic in-process dressing)-grinding high form accuracy with #4000 cast iron bonded diamond wheel, and then polished with a small polishing tool.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
上野 嘉之
理研
-
上原 嘉宏
理研
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
森田 晋也
理化学研究所
-
林 偉民
秋田県立大学
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
上野 嘉之
The Institute Of Physical And Chemical Research Riken
-
上原 嘉宏
理化学研究所
-
鈴木 春
高エネ機構中性子
-
鈴木 亨
理化学研究所
-
上野 嘉之
理化学研究所
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