2818 不均質な変形構造を持つ材料の ELID 研削及びそのシミュレーション
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Large-scale SiC lightweight mirrors are usually designed as non-uniformity rib-structures in the rear face for reducing weight. Both the optical face and the rib of the mirror are so thin that deformation of the profile caused by grinding force cannot be neglected. The electrolytic in-process dressing (ELID) of grinding wheels attains specular finishs on brittle materials, with high efficiency and surface roughness on the nanometer scale. In this study, the profile deformation of a SiC work during grinding processes was investigated by ELID grinding experiment and FEM simulation method. Especially, in order to finish large-scale SiC lightweight mirrors with high form acuracy, a new method combined ELID-grinding and machining simulation was proposed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
-
田代 英夫
理化学研究所光バイオプシー開発ユニット
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
鈴木 亨
理化学研究所
-
田代 英夫
理化学研究所田代分子計測工学研究室
-
田代 英夫
理化学研究所
-
戴 玉堂
理化学研究所
関連論文
- 28pSE-11 EUSO ミッション (29) MAPMT 開発状況(超高エネルギー宇宙線, 宇宙線)
- 725 イントラネットを利用したNC工作機械のリモートコントロール・モニタリング技術(切削性能の向上)(OS.1 生産加工・工作機械)
- B-13-23 中空光ファイバプローブを用いたラマン分光計測 : ポリカーボネート母材を用いた中空光ファイバの開発(B-13.光ファイバ応用技術,一般講演)
- 25aYS-2 放物面型多層膜スーパーミラーによる熱・冷中性子収束光学素子の開発(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- BS-9-2 生体内ラマン分光計測のための中空ファイバプローブ(BS-9.光ファイバの民生、医療分野などへの応用,シンポジウム)
- 先端的分光内視鏡と光バイオプシー技術の開発
- 19pXG-13 アルコール水溶液の濃度ゆらぎの可視化と多分散マスフラクタル描像(溶液・液体,領域12(ソフトマター物理,化学物理,生物物理))
- 医療分野
- V-CAM援用による自由曲面の仕上げ加工効果
- 回転式卓上加工機TRIDER-Xによるミーリング加工実験
- 波長走査干渉計における信号処理
- 波長走査干渉計における波長掃引の校正
- 超広帯域波長走査干渉計
- 波長走査干渉計による表面形状測定(第二報) : 理論分解能の改善手法の提案
- 波長走査干渉計による表面形状測定(第一報) : 超広帯域波長走査
- GaSe結晶を用いた高出力中赤外差周波光の発生
- 共振器内変換型パラ水素ラマンレーザーによる16μm光のパルス発振
- 高繰り返しTEA CO_2レーザーによる固体表面クリーニング
- レーザー発振における同位体利用
- 30a-S-1 NH_3レーザーによる多光子励起異性化反応
- ラマン分光分析用放物面ミラーの製作:ミラーの形状精度について
- 電子制御波長可変レーザーを用いたヘモグロビンの分光分析:透過吸収法とラマン法によるアプローチ
- 電子制御波長可変レーザーを用いた透過スペクトル測定の医学応用
- カスタムDNAマイクロアレイによる環境化学物質の発達神経毒性評価
- 27aTF-7 大気チェレンコフ望遠鏡における補正光学系の開発(27aTF 高エネルギーガンマ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 2832 定圧テーブルを採用したデスクトップマシンツールの開発
- 超精密卓上型斜出成形機の開発における基礎的研究
- デスクトップファブリケーションシステム/ツールの研究
- 230 天文望遠鏡用大型軽量ミラーのELID研削に関する基礎研究 : マシンニングセンターによるCVD-SiC平面ミラーの製作(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作:第三報4軸同時制御による非軸対称フレネルレンズの型の加工
- 超高エネルギー宇宙線超広視野観測装置のための両面湾曲型両面フレネルレンズの製作:第四報両面湾曲型両面フレネルレンズの成形方法
- 新機能ラマン結晶の作成とラマン過程の制御
- ベンチャー創業のすすめ
- 広帯域・低損失ミラーを用いたCWチタンファイアレーザーの全波長域チューニング
- LQE2000-23 電子制御によるレーザーの2波長発振と波長変換への応用
- 電子波長制御チタンサファイアレーザーの新展開
- 電子波長制御チタンサファイアレーザーの新展開
- 全固体高速波長同調型レーザーの使用による差周波光発生
- 電子波長制御波長可変レーザー技術の進展と生物応用
- オプトエレクトロニクス材料へのレーザープロセシング
- ラマン結晶La_2(WO_4)_3の作成と特性評価
- 真空紫外-紫外多重波長励起アブレーション
- 電子波長制御Ti : SapphireレーザーによるRbTiOAsO4を用いた高速波長可変光パラメトリック発振器
- 真空紫外レーザー光によるアブレーション
- AOTFを用いた全固体高速波長可変チタンサファイアレーザーの開発
- ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスによるシリコンミラーの製作
- 薄肉リブ構造を持つSiCワークのELID研削変形
- 2613 大型自由形状面超精密仕上げツールの開発 : 第1報:大型非球面形状加工プロセスの提案(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 光部品開発における計測と光路シミュレーション
- VCAMの開発とその応用加工技術・事例
- VCADものつくり応用技術の研究開発
- 小径レンズ金型の超精密 ELID マイクロ研削加工
- 超軽量SiCミラーの高効率加工
- VCAD/VCAMを利用した非球面金型加工の試み
- 大口径SiC球面ミラーのELID研削
- 527 屈折率傾斜(GRIN)光学素子へのELID研削加工の試み(OS11 研削・砥粒加工)
- 524 ELID研削面の超精密ポリシングの検討(OS11 研削・砥粒加工)
- 屈折率傾斜光学素子へのELID研削の試み
- ELID研削面の超精密ポリシングの検討
- φ360mm大口径CVD-SiC軽量ミラーのELID研削
- マイクロレンズアレイ金型の超精密切削加工 : 斜軸切削加工法による試み
- V-CAMの開発及びそのものつくり加工(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- GaSe結晶を用いた高出力差周波光の発生
- 高気圧CO_2レーザーのアクティブシフト法による周波数シフト
- 環状ビームを励起光としたパラ水素およびオルソ重水素ラマンレーザー
- 時間ゲート注入法によるTEA CO_2レーザーのビルドアップ制御と低ジッター化
- 不安定共振器モードをもつビームのマルチパスセルにおけるラマン変換
- TEA Co_2レーザーのアクティブシフト法における単一縦モード発振
- AOTFを用いた全固体チタンサファイアレーザーの高速波長制御
- 高速チューナブルレーザーの開発と応用計測
- AOTFを用いた高速波長可変チタンサファイアレーザー
- 2波長パルスTi:Sapphireレーザーシステムによる広帯域差周波光の発生
- AOTFを用いた高速波長可変チタンサファイアレーザー
- 固体ラマン媒質から得られる短パルスストークス光の空間プロファイルの改善
- Ti : Sapphire レーザー励起による広帯域差周波光の発生
- ZerodurのELID研削抵抗
- 非接触式オンマシン形状計測システムの開発とその特性
- オンマシンAFM観察・計測システムの特性
- 2818 不均質な変形構造を持つ材料の ELID 研削及びそのシミュレーション
- 4軸超精密油静圧駆動システム加工機における球面レンズ金型加工の試み
- 放物面ミラーの超精密ELID研削
- 軽量化ミラーの超精密加工及びシミュレーション
- 119 サブミクロン回折格子の超精密マイクロ切削加工
- 波長可変個体レーザー励起2段階ラマン変換による広帯域赤外光の発生
- 402 ゲルマニウム回折格子のマイクロ ELID 研削
- 偏光スイッチ法による高出力反ストークス光の発生
- 触針式形状測定プローブによる微細形状の測定
- ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID研削(第三報)機上測定機を利用した高精度加工の試み:その2
- ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID研削 : (第二報)機上測定機を利用した高精度加工の試み
- 軽量ミラー用セラミックス材の ELID 研削特性
- 653 プラスチック光学レンズ成形における射出成形シミュレーションの応用
- 超精密ELID研削によるセラミックスのナノプレシジョン表面加工
- 真空紫外レーザーによる石英ガラスの屈折率制御
- 真空紫外ラマンレーザーによる難加工物質のアプレーション
- エキシマレーザを用いたSi注入堆積法によるステンレス鋼傾斜機能構造の形成
- 真空紫外ラマンレーザを用いた多重波長照射による石英ガラスのアブレーション
- 真空紫外ラマンレーザーによる多波長誘起アブレーション
- Siレーザー注入堆積によるステンレス鋼への熱的安定層の形成
- レーザーによる光操作顕微鏡の開発と応用
- 構造材料のレーザークリーニング