軽量化ミラーの超精密加工及びシミュレーション
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概要
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- 2002-03-01
著者
-
田代 英夫
理化学研究所光バイオプシー開発ユニット
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
海老塚 昇
甲南大学理工学部
-
片平 和俊
理化学研究所
-
海老塚 昇
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理化学研究所
-
鈴木 亨
理化学研究所
-
田代 英夫
理化学研究所田代分子計測工学研究室
-
田代 英夫
理化学研究所
-
戴 玉堂
理化学研究所
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
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