マイクロレンズアレイ金型の超精密切削加工 : 斜軸切削加工法による試み
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概要
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The purpose of this paper is to investigate the cutting performance of molding dies for the microlens-array, using a ultraprecision cutting machine tool with Inclined axis cutting method. In this cutting method, the specifications of a aero-statics guided machine too with a mono-crystal diamond ballendmill of about 0.5mm nose radius were used. For experiments, workpieces of oxygen-free copper was applied. In the experiments, a surface roughness of 20nmP-V and form accuracy about 100nmP-V were obtained. As a result, it was confirmed that the cutting method should be effective to produce the cutting of molding dies for the microlens-array.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-23
著者
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
鈴木 春
高エネ機構中性子
-
柴田 順二
芝浦工業大学
-
鈴木 亨
理化学研究所
-
小林 裕一
芝浦工業大学
-
石川 惣一
理化学研究所
-
石川 惣一
新世代加工システム(株)
-
柴田 順二
芝浦工業大
-
石川 惣一
新世代加工システム
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