513 30万rpm超高速スピンドル搭載リニアモータプロファイラーによるマイクロファブリケーション(機械工作・生産工学)
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概要
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In this study, we developed Linear motor profiler with the main spindle of ultra high rotation speed of three hundred thousand revolution per minute. This paper describes features and problems of the Linear motor profiler with Main spindle of Ultra high rotation speed.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-08-15
著者
-
高橋 一郎
(独)理化学研究所中央研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
高橋 一郎
理化学研究所
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
上原 嘉宏
理化学研究所
-
安斎 正博
理化学研究所中央研究所
-
安斎 正博
理研
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
安斎 正博
理化学研究所 工学基盤研究部
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