ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスによるシリコンミラーの製作
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-12-01
著者
-
上原 嘉宏
理研
-
大森 整
(独)理化学研究所
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
林 偉民
秋田県立大学
-
鈴木 春
高エネ機構中性子
-
上原 嘉宏
(独)理化学研究所
-
林 偉民
(独)理化学研究所
-
尹 韶輝
新世代加工システム(株)
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