ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスの研究 : 第二報 CVD-SiC加工への試み
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概要
著者
-
上原 嘉宏
理研
-
大森 整
(独)理化学研究所
-
林 偉民
秋田県立大学
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上原 嘉宏
(独)理化学研究所
-
林 偉民
(独)理化学研究所
-
浅見 宗明
新世代
-
浅見 宗明
新世代加工システム
-
尹 韶輝
新世代加工システム(株)
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