大型非球面ミラー測定用機上粗さ測定装置の開発 : 第1報 : 開発コンセプトや仕様についての基礎検討
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
上原 嘉宏
理研
-
大森 整
理研
-
林 偉民
理研
-
郭 建強
理研
-
山形 豊
理研
-
守安 精
理研
-
郭 建強
(独)理化学研究所
-
片平 和俊
理研
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
-
伊藤 伸英
茨城大学工学部機械工学科
-
林 漢錫
理化学研究所
-
林 漢錫
理研
-
伊藤 伸英
茨城大
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