超精密デスクトップ加工システムによるマイクロ加工 (特集 マイクロ加工技術最前線)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 工業調査会の論文

著者

• 上原 嘉宏

  理研

• 成瀬 哲也

  (独)理化学研究所

• 大森 整

  (独)理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室

• 成瀬 哲也

  (独)理化学研究所基幹研究所

関連論文

• 表面改質加工(EG-X)法によるNi-Ti形状記憶合金の高品位表面仕上げとその改質効果の検討(M&M2009材料力学カンファレンス)
• 28pSE-11 EUSO ミッション (29) MAPMT 開発状況(超高エネルギー宇宙線, 宇宙線)
• 407 大型SiCミラーのELID研削(OS-12 ELID加工)
• 放電プラズマ焼結(SPS)法を用いて作製したTiボンド砥石による表面改質加工
• X線自由電子レーザ集光ミラーの開発
• 25aYS-2 放物面型多層膜スーパーミラーによる熱・冷中性子収束光学素子の開発(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
• 503 ナノダイヤモンドコロイドの摩擦磨耗特性(G3:強度・衝撃,G3:強度・衝撃)
• 4H-SiC(0001)面の高能率研削
• 独)理化学研究所基幹研究所大森素形材工学研究室
• イオンショットドレッシング研削システムの開発
• マイクロ切削に及ぼす機上工具作製の効果と表面改質によるマイクロツールの強靭化
• 金型の超精密ELID研削加工
• 2208 静電インクジェット現象を利用したマイクロ加工(要旨講演,一般セッション:柔軟媒体ハンドリング/画像形成機器)
• 173 超精密研削による耐熱工具コーティングの高品位表面仕上げ(機素潤滑設計II)
• ELID研削法による金属表面の親水性・撥水性の制御
• 硬脆材料のELID研削加工 (特集欄 超精密マイクロ・ナノ機械加工) -- (研削加工)
• 1009 極微ツールの表面ナノ構造・機能を制御する改質加工技術に関する研究開発(表面改質による機械の高性能化)
• 3609 マイクロハードディスク用超精密フラット・チャンファリングシステムの研究開発(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
• 砥石ボンド材の電解現象を利用した表面改質加工法に関する研究
• 人工骨頭用材料Co-Cr合金の高品位加工および細胞毒性評価
• ELIDを基盤的手法とした表面改質加工とその効果 (特集 ELID研削技術)
• 403 表面改質加工によるチタン合金の骨親和性付与(OS-12 ELID加工)
• 402 イオン溶出・拡散現象を利用した表面改質加工法の研究開発(OS-12 ELID加工)
• 401 デスクトップ研削システムのための新しいELID研削技術の開発(OS-12 ELID加工)
• 19aXB-9 中性子ビーム用デバイスのための曲面スーパーミラーの開発(X線・粒子線(中性子),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 放電プラズマ焼結 (SPS) 法を用いて作製したTiボンド砥石による表面改質加工
• 歯科用セラミックス機能性材料の研削特性
• 3512 V-Camによる機上計測フィードバック加工(S65 加工計測・評価システム,S65 加工計測・評価システム)
• 3608 V-Cam専用卓上加工機のためのノズル式ELID研削システムの開発(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
• 3611 技能継承の支援を目的とした技能収集システムの開発(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
• V-CAM援用による自由曲面の仕上げ加工効果
• V-CAMの開発およびそれの援用によるものつくり
• 21507 ナノダイヤモンドコロイドよる研磨加工におけるトライボファブリケーションの研究(研削・研磨加工-2,OS.14 研削・研磨加工)
• ナノ精度保証、加工誤差ゼロを追求する加工計測融合システム (特集 高精度・高品質・高効率生産を支えるインプロセス/オンマシン計測)
• 連携加工プロセスによる光学素子のナノ精度鏡面加工
• 408 ELID研削と磁性流体研磨(MRF)連携加工プロセスの効果(OS-12 ELID加工)
• 406 レーザ式非接触加工機上測定システムの開発(OS-12 ELID加工)
• 405 低圧触針式機上形状測定システムの開発 : 低圧接触式プローブの高精度化(OS-12 ELID加工)
• レーザプローブによる非接触オンマシン形状測定
• 回転式卓上加工機TRIDER-Xによるミーリング加工実験
• 3612 技能継承支援における切削加工技能・知識の体系化と事例への応用(G13 生産加工・工作機械,G13 生産加工・工作機械)
• 809 超精密機械加工面へのDLC皮膜の適用
• 超精密光学加工面とその評価 (特集 ナノテクノロジー)
• 金型の新しい鏡面研削法と計測技術 (最新金型加工技術2009年版--次代を担う高付加価値金型加工) -- (解説編 精密金型,微細金型)
• イオンショットドレッシングを適用した1μmマイクロツールの研削加工
• 超精密デスクトップ加工システムによるマイクロ加工 (特集 マイクロ加工技術最前線)
• 磁性流体研磨(MRF)の効果と適用
• ELID研削技術とその新たなる展開--ナノプレシジョン加工とマイクロ化がELIDを変える (特集2 砥粒加工技術)
• デスクトップマシンツールによる超精密マイクロ加工 (ワイド特集 日本の先進的モノづくりを支える微細精密加工技術)
• テーブルトップ超精密4軸加工機の開発 : 第5法 : 微小砥粒砥石を使用した定圧テーブルの効果
• SPS法超硬材料を用いたバイトチップの試作
• ELID研削によるナノレベル表面機能の発現
• テーブルトップ超精密4軸加工機の開発 : 第4報 : 単結晶ダイモンドツールを使用した微細形状加工の試み その2
• ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスの研究 : 第二報 CVD-SiC加工への試み
• 27aTF-7 大気チェレンコフ望遠鏡における補正光学系の開発(27aTF 高エネルギーガンマ線,宇宙線・宇宙物理領域)
• 3523 卓上 4 軸 ELID 鏡面加工機の開発及びその加工特性
• 技能継承ツール「加工テンプレート」の開発とそれを用いた特殊形状品の切削加工技能の可視化
• 515 微細エンドミルを用いたマイクロ切削加工における高品位表面加工(機械力学・制御)
• 技能継承の支援を目的とした切削加工技能の抽出・体系化ツールの開発(生産加工・工作機械の規範2008)
• 耐食金属材料の高温酸化挙動に及ぼす表面改質加工の効果
• B19 切削加工技能の抽出・体系化ツールの開発とそれを利用した技能継承支援への取り組み(OS-6 切削加工(3))
• ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスの研究 : 第一報 : ガラスレンズ加工への試み
• ELID研削と磁性流体研磨(MRF)を相乗した超精密仕上げ加工プロセスによるシリコンミラーの製作
• 2613 大型自由形状面超精密仕上げツールの開発 : 第1報:大型非球面形状加工プロセスの提案(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
• 光部品開発における計測と光路シミュレーション
• VCAMの開発とその応用加工技術・事例
• VCADものつくり応用技術の研究開発
• 小径レンズ金型の超精密 ELID マイクロ研削加工
• VCAD/VCAMを利用した非球面金型加工の試み
• 527 屈折率傾斜(GRIN)光学素子へのELID研削加工の試み(OS11 研削・砥粒加工)
• 524 ELID研削面の超精密ポリシングの検討(OS11 研削・砥粒加工)
• F-0505 ELID研削における研削液供給条件の影響(G13-2 生産加工・工作機械(2))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
• 大型非球面ミラー測定用機上粗さ測定装置の開発 : 第1報 : 開発コンセプトや仕様についての基礎検討
• セラミックスの微細加工のためのデスクトップ加工システム
• ナノ・マイクロストラクチャーを作り込む金型加工・成形転写技術
• ELID研削システム搭載デスクトップマシンツールにおける非球面レンズの開発
• ELID研削システム搭載卓上型平面研削加工機"MOBILION"の開発
• 119 サブミクロン回折格子の超精密マイクロ切削加工
• 1406 屈折率傾斜(GRIN)光学素子の超精密ELID非球面研削加工(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
• W10(3) 不均質構造体の変形シミュレーションとその超精密加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
• W10(2) 非球面傾斜光学機能レンズの開発と光学機能シミュレーション(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
• W10(1) V-Camファブリケーションシステムが拓く新しい超精密・超精緻加工(ナノ精度加工プロセスとそのシステム化・実用に関する研究分科会)
• 304 複合・連携加工プロセスによる光学素子の超精密・高品位加工(精密/微細加工と評価)
• レーザープローブを用いた非接触式機上形状測定システムの開発
• 2614 大型自由形状面超精密仕上げツールの開発 : 第2報:大型非球面形状仕上げツールの開発(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
• 1405 普及版セル型ELID鏡面研削盤の開発(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
• 1404 デスクトップ研削システムのための新しいELID研削技術(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
• 1402 ELID研削システム搭載卓上型マイクロツール加工システムの開発(S78-1 高機能研削加工(1),S78 高機能研削加工)
• ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発 : 第5報 : マイクロツールの高能率加工-その2-
• ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発 : 第4報 : マイクロツールの切削特性評価
• ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発 : 第3報 : マイクロツールの高能率加工について
• テクニカルレポート 新世代のELID研削法の開発とその応用・実用--砥石に電極を用いない新ELID法と傾斜屈折率レンズ加工
• 535 デスクトップマシンツールによる微細加工の試み(OS11 研削・砥粒加工)
• デスクトップマシンツールにおける球面レンズ高能率ELID研削システムの開発
• ナノ精度とマイクロ化を目指した最先端超精密加工技術 (特集 生産加工を支える新技術--これからのものづくり)
• 超精密・微細金型の先進加工プロセスとシステム (はじめての金型 よくわかる金型加工) -- (第2章 金型加工技術の最新動向)
• 653 プラスチック光学レンズ成形における射出成形シミュレーションの応用
• 球芯振りELID研削による金属製人工股関節ライナーの鏡面加工
• 難削材加工のための加工プロセスカルテとそれを用いたノウハウの「見える化」
• 球芯振りELID研削による金属製人工股関節ライナーの鏡面加工

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク