304 複合・連携加工プロセスによる光学素子の超精密・高品位加工(精密/微細加工と評価)
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概要
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In this paper, we proposed a complex finishing process of MRF and ELID grinding and applied this method to nano-precision finishing for glass lens. ELID grinding, as pre-finishing, was employed to obtain high form accuracy and good surface quality in high efficiency. And then, MRF, as the final finishing, was used for improve furthermore surface quality and figure accuracy. Several sets of finishing experiments for sphere glass lens have been performed to verify obtainable surface figure precision and surface roughness by use of this new synergistic process.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-14
著者
-
上原 嘉宏
理研
-
大森 整
理研
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森田 晋也
理研
-
林 偉民
理研
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渡邉 裕
理研
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渡邉 裕
(独)理化学研究所
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森田 晋也
理化学研究所
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林 偉民
秋田県立大学
-
渡辺 裕
理研
-
森田 晋也
(独)理化学研究所
-
伊藤 伸英
茨城大学工学部機械工学科
-
伊藤 伸英
茨城大
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