408 ELID研削と磁性流体研磨(MRF)連携加工プロセスの効果(OS-12 ELID加工)

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概要

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• In this paper, we proposed a complex finishing process of MRF and ELID grinding and applied this method to nano-precision finishing for glass lens. ELID grinding, as pre-finishing, was employed to obtain high form accuracy and good surface quality in high efficiency. And then, MRF, as the final finishing, was used for improve furthermore surface quality and figure accuracy. Several sets of finishing experiments for sphere glass lens have been performed to verify obtainable surface figure precision and surface roughness by use of this new synergistic process.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-24

著者

• 上原 嘉宏

  理研

• 大森 整

  理研

• 森田 晋也

  理研

• 林 偉民

  理研

• 渡邉 裕

  理研

• 渡邉 裕

  (独)理化学研究所

• 森田 晋也

  理化学研究所

• 林 偉民

  秋田県立大学

• 渡辺 裕

  理研

• 森田 晋也

  (独)理化学研究所

• 林 偉民

  秋田県立大学 システム科学技術学部機械知能システム学科

• 大森 整

  (独)理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室

• 渡辺 裕

  弘前大・理工

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