527 屈折率傾斜(GRIN)光学素子へのELID研削加工の試み(OS11 研削・砥粒加工)

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概要

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• ELID (Electrolytic In-Process Dressing) grinding method is possible to achieve ultraprecision smooth surface of hard and brittle materials. To obtain ultra smooth surface required such as micro lens, final polish process which required long time after conventional grinding process was necessary. ELID grinding method using an ultraprecision grinding machine tool will be very effective in reducing the time required for finial polishing process. In this paper, a fabrication experiment using this ELID grinding process was studied for Gradient Index (GRIN) lens.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2004-11-19

著者

• 上原 嘉宏

  理研

• 渡邉 裕

  (独)理化学研究所

• 鈴木 亨

  (独)理化学研究所

• 森田 晋也

  理化学研究所

• 林 偉民

  秋田県立大学

• 大森 整

  理化学研究所

• 林 偉民

  理化学研究所

• 渡辺 裕

  理研

• 上原 嘉宏

  理化学研究所

• 鈴木 春

  高エネ機構中性子

• 渡邉 裕

  理化学研究所

• 牧野内 昭武

  理化学研究所

• 鈴木 亨

  理化学研究所

• 劉 慶

  理化学研究所

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