121 マイクロプローブによる微細溝の超精密形状測定
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概要
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In the on-machine measurement, there are many merits in accuracy and efficiency because it is possible to measure a profile of various forms without attaching and removing the workpiece. Recently, many optical components with fine grooves, such as gratings of Fregnel lens, have been used, but it had been difficult to measure such profiles accurately. So the ultraprecision profile measuring probe with the fine stylus which enables a fine profile to be measured has been developed.
- 2002-11-19
著者
-
渡邉 裕
(独)理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
林 偉民
理化学研究所
-
渡辺 裕
理研
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
片平 和俊
理化学研究所
-
渡邉 裕
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
山形 豊
理化学研究所vcad加工応用チーム
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
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