ELIDによる高品位鏡面加工と表面改質加工 (特集 超精密研磨加工はどこまで進んだか) -- (各種研磨法の開発成果)

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概要

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著者

• 渡邉 裕

  (独)理化学研究所

• 渡辺 裕

  理研

• 片平 和俊

  (独)理化学研究所基幹研究所

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