413 超精密 ELID 鏡面加工機による大形光学素子の超精密加工特性
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概要
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- 2002-09-06
著者
-
大森 整
理研
-
森田 晋也
理研
-
林 偉民
理研
-
渡邉 裕
理研
-
渡邉 裕
(独)理化学研究所
-
森田 晋也
理化学研究所
-
渡辺 裕
理研
-
山形 豊
理研
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
片平 和俊
理研
-
山形 豊
理化学研究所vcad加工応用チーム
-
片平 和俊
(独)理化学研究所基幹研究所
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