CVD-SiC 膜のスーパースムーズポリシング(2)
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-03-05
著者
-
大森 整
理研
-
土肥 俊郎
埼玉大学教育学部
-
河西 敏雄
埼玉大学
-
堀尾 健一郎
埼玉大
-
劉 長嶺
理研
-
劉 長嶺
埼玉大学
-
山崎 次男
埼玉大
-
劉 長嶺
理化学研究所
-
伊藤 伸英
茨城大学工学部機械工学科
-
河西 敏雄
埼玉大
-
森谷 将之
埼玉大
-
林 偉民
埼玉大
-
伊藤 伸英
茨城大
-
土肥 俊郎
埼玉大
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