419 軟質ミラー材料のナノオーダー鏡面研磨(OS12 研削・砥粒加工)
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概要
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This paper describes a nano order polishing method of aluminum alloy for laser reflecting mirror surface. In the experiment, the different types of diamond abrasives or colloidal slurry that polishing ability be used, and the different elastic deformation polyurethane pad be used. In the finally, a nano order surface roughness in 10 to 15 nm of Ra of aluminum alloy had obtained, and also observed same micro step height different between grains on the polished surface.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
上野 嘉之
理研
-
大森 整
理研
-
林 偉民
理研
-
河西 敏雄
東京電機大学
-
河西 敏雄
埼玉大学
-
上野 嘉之
The Institute Of Physical And Chemical Research Riken
-
上野 嘉之
理化学研究所
-
河西 敏雄
埼玉大
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