419 軟質ミラー材料のナノオーダー鏡面研磨(OS12 研削・砥粒加工)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes a nano order polishing method of aluminum alloy for laser reflecting mirror surface. In the experiment, the different types of diamond abrasives or colloidal slurry that polishing ability be used, and the different elastic deformation polyurethane pad be used. In the finally, a nano order surface roughness in 10 to 15 nm of Ra of aluminum alloy had obtained, and also observed same micro step height different between grains on the polished surface.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
上野 嘉之
理研
-
大森 整
理研
-
林 偉民
理研
-
河西 敏雄
東京電機大学
-
河西 敏雄
埼玉大学
-
上野 嘉之
The Institute Of Physical And Chemical Research Riken
-
上野 嘉之
理化学研究所
-
河西 敏雄
埼玉大
関連論文
- 表面改質加工(EG-X)法によるNi-Ti形状記憶合金の高品位表面仕上げとその改質効果の検討(M&M2009材料力学カンファレンス)
- 28pSE-11 EUSO ミッション (29) MAPMT 開発状況(超高エネルギー宇宙線, 宇宙線)
- 407 大型SiCミラーのELID研削(OS-12 ELID加工)
- X線自由電子レーザ集光ミラーの開発
- 25aYS-2 放物面型多層膜スーパーミラーによる熱・冷中性子収束光学素子の開発(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))
- 金属Cuの鏡面研磨加工(5):LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングの基礎検討
- 金属Cuの鏡面研磨加工(4) : LSIデバイス電極材料のCu膜のCMPおよびCuヌル非球面ミラーのポリシングに基礎検討
- 123 5 軸制御超精密加工機による球面回折格子の加工
- 独)理化学研究所基幹研究所大森素形材工学研究室
- イオンショットドレッシング研削システムの開発