406 大型 X 線ミラーの超精密ポリシング
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概要
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This paper describes an ultraprecision polishing method of larger scale X-ray mirrors which made of fused silica, and the polishing characteristics. The X-ray mirrors which ground high form accuracy with ELID-grinding used #4000 cast iron bonded diamond wheel, it was took polishing with NC control polishing machine using a small polishing tool and Ce_2O_3 slurry. In the results, very good ground surface of Ra < 1nm mirror can be achieved.
- 2000-11-20
著者
-
大森 整
理研
-
林 偉民
理研
-
牧野内 昭武
理研・ものつくり情報技術統合化研究プログラム
-
劉 長嶺
理研
-
山形 豊
理研
-
守安 精
理研
-
劉 長嶺
理化学研究所
-
牧野内 昭武
理研
-
劉 長嶺
埼玉大院
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