F-0506 X線ミラーの超精密ELID研削加工(G13-2 生産加工・工作機械(2))(G13 生産加工・工作機械部門一般講演)
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概要
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This paper describes an ultraprecision ELID (Electrolytic In-Process Dressing) grinding method of fused silica and single crystal silicon X-ray mirrors with a large ultraprecision aspheric grinding system, and the grinding characteristics. The X-ray mirrors materials was ground with the grinding system by ELID-grinding using #325, #1200 and #4000 cast iron-cobalt hybrid bonded diamond wheels, and the grinding characteristics of this X-ray mirror were investigated. The results, very good ground surface of Ra 8.7nm and Ry 97nm of 300mm mirror can be achieved.
- 2001-08-22
著者
-
上野 嘉之
理研
-
大森 整
理研
-
森田 晋也
理研
-
林 偉民
理研
-
森田 晋也
理化学研究所
-
劉 長嶺
理研
-
上野 嘉之
The Institute Of Physical And Chemical Research Riken
-
山形 豊
理研
-
守安 精
理研
-
上野 嘉之
理化学研究所
-
劉 長嶺
理化学研究所
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