ELID鏡面研削を実現する超微粒研削砥石 (特別企画 超平坦・超平滑加工実現へのブレークスルーは何か?)

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概要

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著者

• 渡邉 裕

  (独)理化学研究所

• 渡辺 裕

  理研

• 加藤 照子

  (独)理化学研究所

関連論文

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• 413 超精密 ELID 鏡面加工機による大形光学素子の超精密加工特性
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• 1404 デスクトップ研削システムのための新しいELID研削技術(S78-2 高機能研削加工(2),S78 高機能研削加工)
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• ELIDマイクロファブリケーションシステムにおけるマイクロツールの開発 : 第4報 : マイクロツールの切削特性評価
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