ソリッドイマージョンミラーの超精密ELID研削 : (第二報)機上測定機を利用した高精度加工の試み
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
鈴木 亨
(独)理化学研究所
-
大森 整
理化学研究所
-
守安 精
理研
-
山形 豊
理化学研究所
-
上原 嘉宏
理化学研究所
-
鈴木 亨
理化学研究所
-
守安 精
理化学研究所
-
山形 豊
理化学研究所中央研究所
-
山形 豊
理化学研究所vcad加工応用チーム
-
鈴木 貞一
富士ゼロックス(株)NBC
-
鈴木 貞一
富士ゼロックス
-
上柳 喜一
富士ゼロックス(株)総合研究所
-
若林 公宏
富士ゼロックス(株)生産技術部
-
若林 公宏
富士ゼロックス
-
上柳 喜一
富士ゼロックス
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