新しい線接触形ポリシング法の開発(第2報) -シミュレーションによる加工形状解析-

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概要

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• 1997-10-01

著者

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 土肥 俊郎

  埼玉大学 教育学部

• 河西 敏雄

  埼玉大学

• 大森 整

  理化学研究所

• 酒井 謙児

  (株)東京精密

• 中川 威雄

  東大

• 守安 精

  東大生研

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