酸化物結晶の超精密ポリシング(第1報) -MgO単結晶の加工特性-

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概要

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• 1996-09-01

著者

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 河西 敏雄

  埼玉大学工学部

• 酒井 謙児

  (株)東京精密

• 神沢 徹

  芝浦工業大学

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