不破 徳人 | 豊橋技科大院
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概要
関連著者
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池野 順一
埼玉大学
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鈴木 浩文
中部大
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鈴木 浩文
豊橋技科大
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堀内 宰
豊橋技科大
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不破 徳人
豊橋技術科学大学
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池野 順一
埼玉大学大学院理工学研究科
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不破 徳人
豊橋技科大院
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渋谷 秀雄
豊橋技科大
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河西 敏雄
埼玉大学
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池野 順一
埼玉大
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池野 順一
埼玉大学大学院
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深澤 隆
豊橋技術科学大学大学院工学研究科生産システム工学
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澁谷 秀雄
豊橋技科大
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河西 敏雄
埼玉大
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河西 敏雄
埼玉大 大学院理工学研究科
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高坂 佳秀
豊橋技科大院
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深澤 隆
豊橋技科大院
著作論文
- シリコンの鏡面研削に関する研究 : 薄片状シリカ粒子を用いたEPD砥石の開発
- F-0525 EPDペレットによるSiウエハの鏡面研削 : 空気冷却による冷却効果について(J17-2 マイクロトライボロジー&プロセッシング(2))(J17 マイクロトライボロジー&プロセッシング)
- シリカEPD砥石による水晶の鏡面研削