連続逐次2点法によるSi基板平面形状測定に関する研究
スポンサーリンク
概要
著者
-
梅田 和昇
中央大学理工学部精密機械工学科:科学技術振興機構crest
-
谷 泰弘
立命館大学理工学部
-
井原 透
中央大学理工学部
-
谷 泰弘
東京大学生産技術研究所
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所
-
奥野 昇
コマツエンジニアリング株式会社 計測エンジニアリング事業部
-
谷 泰弘
東大生研
-
高橋 満雄
コマツエンジ
-
何 偉銘
中央大学大学院理工学研究科
-
佐藤 壽芳
東京大学
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所第2部(元)
-
何 偉銘
中央大学理工学部
-
井原 透
中央大 理工
-
井原 透
中央大学(院)
-
梅田 和昇
中央大学理工学部
-
奥野 昇
コマツエンジニアリング(株)
-
高橋 満雄
コマツエンジニアリング(株)
関連論文
- 小型距離画像センサを用いた二足歩行ロボットの障害物検出および回避行動生成(セッション3,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
- 周期運動検出に基づくジェスチャ認識の汎用化に関する検討(セッション5,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
- 実物体の三次元モデル生成における距離濃淡画像を利用した色情報の改善(コンピュータグラフィックス)
- インテリジェントルームのためのDPマッチングを用いた口唇動作認識
- 画像入力・計測技術の新展開 : 三次元画像計測技術を中心として(実世界における画像技術の応用)
- 精密工学における画像産業応用技術の展望 : その技術の性質と立脚すべき科学技術試論
- 赤外域における分光反射特性を用いた物体検出の基礎検討(サマーセミナー(若葉研究者の集い)「最先端ビジョン技術が拓く画像応用の新境地」)
- アーバンセンシング基盤に向けて(センシングネットワーク:目的指向編)
- 四足歩行ロボットの最短時間制御(機械力学,計測,自動制御)
- Toward real-time extraction of pedestrian contexts with stereo camera (ユビキタスコンピューティングシステム)
- マルチスポットレーザプロジェクタを用いた200Hz小型距離画像センサの構築(機械力学,計測,自動制御)
- ジェスチャ認識に基づくインテリジェントルームの構築(機械力学,計測,自動制御)
- 多芯光ファイバアレイ自動組立装置の研究
- GPS速度データを基にした人の位置計測
- 親水性キャリア粒子を用いた複合粒子研磨法に関する研究(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- レジンボンド砥石の研削能力調整法(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- インテリジェントルームにおける指差し方向認識率の向上(若葉研究者の集い4,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
- ダイヤモンドテーパワイヤを用いたジルコニアキャピラリの内径研削
- 複合構造制御型光硬化性樹脂切断ブレードの開発(プロダクションテクノロジー研究会)
- ダイヤモンドテーパワイヤを用いたジルコニアキャピラリの内径研削(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- レジンボンド砥石の研削能力調整法
- 電解造箔法を用いた電着研磨テープの開発
- 電解造箔法を用いた電着研麿テープの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 複合構造制御型光硬化性樹脂切断ブレードの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 研究速報「シリコンウエーハ湿式鏡面研削用シリカ砥石の開発」
- 研究速報「結合剤の複合化による仕上げ用砥石の開発」
- 研究速報「フィブリル化を活用したフッ素樹脂砥石の開発」
- 研究速報「発泡性水ガラスを用いた高気孔率シリケート砥石の開発」
- 研究速報「ゾルゲル法を利用した固定砥流工具の開発」
- シリコンウェーハ湿式鏡面研削用シリカ砥石の開発
- 結合剤の複合化による仕上げ用砥石の開発
- フィブリル化を活用したフッ素樹脂砥石の開発
- 発泡性水ガラスを用いた高気孔率シリケート砥石の開発
- ゾルゲル法を利用した固定砥粒工具の開発
- 416 複合粒子研磨法 : 小径キャリア粒子の適用(OS15 研磨技術)
- シリカ砥粒入り研磨パッドの開発
- EPD研削切断法に関する研究 : 切断機構に関する一考察
- ポリマ粒子を用いた研磨加工による工作物ふち形状の高精度化
- 研磨フィルムによる光ファイバコネクタの端面仕上げにおける異物付着の抑制(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 研究速報「酸化チタンを添加した固定砥粒研磨パッドの開発」
- 油性スラリーを用いた複合粒子研磨法に適する工具プレートの検討(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 油性スラリーを用いた複合粒子研磨法に適する工具プレートの検討
- 連続逐次2点法によるSi基板平面形状測定に関する研究
- (16)研磨パッドを用いない鏡面研磨法の提案 : 複合粒子研磨法の開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- 酸化チタンの添加による高気孔率固定砥粒研磨パッドの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 134 工具機上再生技術に関する研究 : 研削工具の形成および再生の試み(OS8 工具・ツーリング)
- 複合粒子研磨技術
- 複合粒子研磨法の開発 : 樹脂工具プレートに関する検討
- ロボカップ4足ロボットリーグにおけるライン情報による自己位置同定
- 周期運動検出に基づくジェスチャ認識
- 洗浄性を考慮した複合砥粒の開発とその研磨特性(生産加工・工作機械の規範2008)
- 電鋳技術を適用した水晶研磨用極薄キャリアの開発(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- SPAL : 実世界注目度センシング(フレッシュマン・セッション,ユビキタス・センサネットワークを支える理論,一般)
- 複合粒子研磨法の開発 : 工具プレートに関する検討
- 研磨パッドを用いない鏡面研磨法の提案 : 複合粒子研磨法の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 21世紀の玩具とロボティクス
- パーティクルフィルタを利用した自己位置推定に生じる致命的な推定誤りからの回復法
- M-050 SPAL : レーザスキャナを用いた実世界注目度計測(ユビキタス・モバイルコンピューティング,一般論文)
- 濃淡値の時系列変化を利用した画像からの手振りの検出
- アルカリ粉末を添加したシリカ砥粒研磨パッドの加工安定性の向上 : アルカリ粉末のコーティング処理(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- アルカリ粉末を添加したシリカ砥粒研磨パッドの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 紫外線硬化樹脂を用いた3層切断ブレードの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 切削工具の機上再生技術に関する研究 : 複合めっきと電解剥離を利用した再生プロセスの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- シリカ微粒子を利用した固体潤滑法の提案(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 延性モード切削における高精度初期接触検知技術 (先進プロダクションテクノロジー)
- 延性モード切削における高精度初期接触検知技術
- 4分割フォトセンサを用いた光計測技術 (先端素材開発研究センタ-)
- シリカ入り研磨パッドにおける添加するKOH粉末のコーティング処理
- 517 エネルギ平衡を考慮した切削時自励振動の挙動
- 特集17 : 研究速報 : 電気泳動現象を利用した超微粒砥石の作成に関する研究
- 特集9 : 研究速報 : 逐次二点法を用いた超精密真直度測定に関する研究 : 補間測定による高精度化の試み
- 特集18 : 研究速報 : 浮上工具方式による超平面切削加工技術
- 逐次2点法によるシリコン基板の平面形状測定に関する研究 : 第1報,支持条件を考慮した直径及び外円周形状測定(機械力学,計測,自動制御)
- レジンボンド砥石の研削能力調整法
- 小型距離画像センサにより得られる相対視差画像を用いた平面領域検出
- 人とつながるためのマシンビジョン技術
- 構造が単純な複眼型マイクロ視覚センサの構築
- こう配拘束と距離濃淡画像を用いた距離画像とカラー画像のレジストレーション(コンピュータビジョン, 画像の認識・理解論文)
- 電鋳技術を適用した水晶研磨用極薄キャリアの開発
- 紫外線硬化樹脂を用いた極薄切断ブレードの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 電着ダイヤモンドワイヤ工具の高速製造法の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 225 電着ダイヤモンドワイヤ工具の高速製造法の開発 : 砥粒共析量に関する検討
- 401 光硬化樹脂を用いた導電性ブレードの開発
- 紫外線硬化性樹脂を用いたレジンボンドダイヤモンドワイヤ工具の開発
- 複合粒子研磨法 : ポリマ粒子による砥粒レス研磨
- テクニカルレポート 間違いだらけの研磨加工
- 複合粒子研磨法におけるキャリア粒子の役割
- 複合粒子研磨法の水晶研磨への適用
- 油系スラリーを用いた複合粒子研磨法 : 工具プレートについての検討
- 総論 ハイテク部品の超精密研磨加工技術とストレスリリーフの重要性 (特集 ハイテク部品の超精密研磨加工技術--ストレスリリーフと超精密仕上げ)
- 画像の輝度値の統計量を用いた移動ロボットの自己位置同定
- 画像処理による自動車の自動教官システム : 車線変更時における目視確認モジュールの構築
- バイオニクスへの挑戦(精密工学の最前線)
- バイオニクスへの挑戦
- 生活安心・安全のための多次元センシング
- 手振り認識などのジェスチャ認識によるインテリジェントルームの構築
- 光学センサ
- 微小情報機器調査委員会第3分科会報告 : 「センサ」(第3部微小情報機器調査委員会報告)
- カメラ特性を考慮した複数自律移動ロボットのための環境・計測シミュレータの開発
- 生活安心・安全のための多次元センシング