研究速報「酸化チタンを添加した固定砥粒研磨パッドの開発」
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概要
著者
-
谷 泰弘
立命館大学理工学部
-
榎本 俊之
大阪大学大学院工学研究科
-
谷 泰弘
東京大学生産技術研究所
-
榎本 俊之
東京大学生産技術研究所
-
谷 泰弘
東大生研
-
高 綺
東大生研
-
河田 研治
(株)フジミインコーポレーテッド
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竹之内 研二
(株)アドマテックス
-
高 綺
元東京大学院学生
-
立石 智隆
(株)ニコン
-
河田 研治
東京大学生産技術研究所
-
榎本 俊之
(株)リコー
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