複合構造制御型光硬化性樹脂切断ブレードの開発(<特集>プロダクションテクノロジー研究会)
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概要
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ダイヤモンドダイシングブレードはセラミックやガラス材料のダイシングやスライシングに用いられるが、ブレードの切削抵抗の低減や工具寿命の向上のためにスロットが設けられる。筆者らは紫外線硬化樹脂を用いたブレードについて、スロットの効果や、多層ブレードの相違などについて性能を調査している。本論文では複合構造制御型光硬化性樹脂切断ブレードを提案し、それをシリコンウエハの切断に適用した結果、著しく切削性能が向上した。
著者
-
谷 泰弘
立命館大学理工学部
-
谷 泰弘
東京大学生産技術研究所
-
上村 康幸
東京大学生産技術研究所
-
土屋 健介
東京大学生産技術研究所
-
谷 泰弘
東大生研
-
李 承福
東京大学生産技術研究所
-
谷 泰弘
立命館大学 理工学部機械工学科
-
谷 泰弘
立命館大学
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