724 スパッタリングによる薄膜面生成過程の特性と加振による平坦化(モデル化・欠陥同定・振動利用)(OS.06 : 振動基礎)
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概要
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During the thin coat generation in the sputtering, this research meant flattening, gave vibration by exciter, and examined the effect. In order to check especially the influence of amplitude as contrasted with the research performed until now, we made the exciter that can be contained to the vacuum chamber in the sputtering equipment. Consequently, it is shown clearly that start time of thin coat formation is overdue with vibration and that minute coarseness is improved than conventional. Moreover, it observed also about the adhesion state of the initial stage of coat formation.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-03
著者
-
仙波 卓祢
福岡工業大学工学部知能機械工学科
-
奥野 昇
コマツエンジニアリング株式会社 計測エンジニアリング事業部
-
佐藤 壽芳
中央大学理工学部
-
谷 泰弘
東大生研
-
高橋 満雄
コマツエンジ
-
佐藤 壽芳
東京大学
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所第2部(元)
-
仙波 卓弥
福岡工大
-
佐藤 壽芳
中央大
-
岩田 伸
NECエンジ
-
奥野 昇
コマツエンジニアリング(株)
-
高橋 満雄
コマツエンジニアリング(株)
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