高周波マグネトロンスパッタ法を用いた極微粒のダイヤモンド砥粒に対する表面改質と高結合度・極微粒レジンボンドホイ-ルの開発

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概要

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• 福岡工業大学エレクトロニクス研究所の論文

著者

• 仙波 卓祢

  福岡工業大学工学部知能機械工学科

• 大森 舜二

  福岡工大

• 藤山 博一

  福岡工業大学

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