走査電子顕微鏡(SEM)による表面あらさ測定の研究 : ディジタル方式による
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概要
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SEM の反射電子画像信号をファイバを介してミニコンピュータにとりこみ,従来アナログ方式の積分演算によってえていた表面あらさ曲面をディジタル方式によっても可能とした.これによって,画面上で走査線を特定してあらさ曲線が求められること,信号の平均化処理でノイズの影響を低減できることなどの諸点について性能向上がはかれることを示した.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1985-09-25
著者
-
大堀 真敬
東京大学生産技術研究所 機械・生体系部門
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所
-
大堀 真敬
東京大学生産技術研究所情報・システム大部門
-
大堀 真敬
東大生研
-
佐藤 壽芳
東京大学
-
佐藤 壽芳
東京大学生産技術研究所第2部(元)
-
大堀 真敬
東大 生産技研
-
大堀 真敬
東京大学生産技術研究所 先進モビリティ研究センター
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