走査電子顕微鏡(SEM)による表面粗さ測定の研究
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概要
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光を用いた測定法による限界の克服、二次元表面あらさ測定の容易化を意図して、従来表面などの観察のみに用いられてきた走査電子顕微鏡(SEM)を表面あらさ測定に用いることを試みた。この結果、反射電子画像を構成する信号が面の傾きに比例することを確認し、これを積分することによって画像と対応して表面あらさ断面曲線、二次元表面あらさが求められること、0.001μm R_<max>台の測定分解能がえられることなどを測定例をもって明らかにした。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1983-02-25
著者
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