III-V化合物半導体を用い歪み駆動自己変形プロセスで作製した微小な円弧型カンチレバーの弾性測定(TFT(有機,酸化物),半導体プロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
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概要
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一般的な原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscopy: AFM)を用い,μmオーダーの寸法を持つ半円弧型カンチレバーの機械的特性について測定を試みた.III-V族化合物半導体ヘテロ多層構造を用い歪みを導入した多層構造の一部を基板から切り離し自己変形させる事で微小な半円弧カンチレバーを作製した.作製したカンチレバーの曲率半径はカンチレバーの幅が大きい程小さい事が示され,これは幅の大小に依存して幅方向の応力緩和の状態が異なるためと考えられる.この応力状態の差異は半円弧型カンチレバーのバネ定数等の基本的な機械的特性にも影響を与える可能性が有り,これを確認するためにAFMを用いプローブカンチレバーで半円弧型カンチレバーを押しつぶしバネ定数を評価した.結果として本実験からは幅方向の歪み緩和のバネ定数への影響は確認できなかった.
- 2011-07-22
著者
-
赤堀 誠志
北陸先端大ナノセンター
-
岩瀬 比宇麻
北陸先端大ナノセンター
-
赤堀 誠志
北陸先端科学技術大学院大学
-
山田 省二
北陸先端大ナノセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学 新素材センター
-
赤堀 誠志
北陸先端科学技術大学院大学:ユーリッヒ研究所
-
赤堀 誠志
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
岩瀬 比宇麻
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
王 建
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
岩瀬 比宇麻
北陸先端大ナノセ
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアノレテクノロジーセンター
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