GaAs(001)上のAlNスパッタ堆積およびAl2O3原子層堆積における表面前処理の効果 (電子デバイス)

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概要

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• 2011-07-29

著者

• 赤堀 誠志

  北陸先端科学技術大学院大学:ユーリッヒ研究所

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