原子間力顕微鏡用GaAs/セラミックス複合型カンチレバーの試作(化合物半導体デバイスのプロセス技術)
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概要
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われわれは、チップ部とビーム部がGaAs、台座部がセラミックスで構成される原子間力顕微鏡(AFM)用GaAs/セラミックス複合型カンチレバーの試作プロセスを確立し、試作品による良好なAFM像を得ることに成功した。GaAs部品は硫酸系、及びリン酸系エッチングにより作製する一方、セラミックス部品の作製は快削性素材をマイクロ機械加工することにより行った。また、試作カンチレバーの共振周波数測定とAFM測定を行い、その基本性能を確認した。GaAsは発光機能、磁気的機能(磁性半導体が結晶成長可能)等Siにない特性を持っている上に台座部に安価なセラミックスを使用することで、市販されているSi系カンチレバーより光・磁気測定への応用に適した低コストカンチレバーの作製が可能になるものと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-06-03
著者
-
赤堀 誠志
北陸先端大ナノセンター
-
赤堀 誠志
北陸先端科学技術大学院大学
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
山田 省二
北陸先端大ナノセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学 新素材センター
-
赤堀 誠志
北陸先端科学技術大学院大学:ユーリッヒ研究所
-
大西 孝史
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
廣島 大三
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
宮本 高志
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
谷藤 望
住金セラミックスアンドクオーツ(株)
-
松田 泰明
住金セラミックスアンドクオーツ(株)
-
南 正克
北陸電気工業(株)
-
本木 幹三
北陸電気工業(株)
-
広瀬 茂
北陸電気工業(株)
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター
-
山田 省二
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアノレテクノロジーセンター
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