301 サブミクロン要素の界面端における時間依存型はく離き裂発生(OS2-1 皮膜・薄膜のき裂・界面き裂,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)

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概要

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• 2007-10-24

著者

• 高橋 可昌

  (独)産業技術総合研究所

• 平方 寛之

  阪大

• 北村 隆行

  京都大学大学院工学研究科機械物理工学専攻

• 北村 隆行

  京大

• 高橋 可昌

  京大院

• 平方 寛之

  京大

• 平方 寛之

  京大院

• 平子 俊博

  京大院

• 松岡 靖典

  京大院

• 高橋 可昌

  関西大学システム理工学部

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