OS1214 SiN薄膜の強度特性に及ぼす微小欠陥の影響(ナノ・マイクロからの視点からの変形と破壊の力学(2),オーガナイズドセッション)
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概要
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本研究では,SiN薄膜微小試験片に対し,引張試験および曲げ試験を実施するとともに,破壊起点となった欠陥を詳細に観察して,微小切欠き状の欠陥が強度特性に及ぼす影響について破壊力学的に検討した.最大主応力に基づく強度評価では,強度は試験片形状や荷重負荷モードに強く依存した.破壊の起点である欠陥寸法を測定し,等価なき裂長さを算出した.等価き裂長さと破壊強度の関係は,別途評価した本薄膜の破壊じん性値から予測した関係と良く一致した.すなわち,SiN薄膜の強度は,試験形状や荷重負荷モードによらず試験片上に分布する微小欠陥が支配しており,微小欠陥をき裂とみなして求めた破壊じん性値K_<IC>によって決定される.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-16
著者
-
箕島 弘二
阪大工
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科
-
崎原 雅之
大阪大学大学院工学研究科
-
崎原 雅之
阪大工
-
平方 寛之
阪大
-
高橋 宏和
阪大院
-
高橋 宏和
大阪大学
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
-
平方 寛之
阪大工
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
川見 勇介
阪大院
-
崎原 雅之
阪大
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