OS1213 ナノ薄膜の界面からの塑性変形開始強度に関する実験的検討(ナノ・マイクロからの視点からの変形と破壊の力学(2),オーガナイズドセッション)
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概要
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基根上に成膜されたナノ薄膜への圧子押込み試験では,基板と薄膜の剛性差によって圧子直下の応力分布が大きく異なる.本研究では,厚さ30nmのAl薄膜に対して低剛性のポリイミド樹脂を基板として用いることによって薄膜/基板界面に高いせん断応力を効果的に負荷できることを利用して,界面からの塑性変形開始実験を実施した.本手法により,ナノ薄膜/基板界面からの塑性変形開始荷重を明確に評価することができた.また,塑性開始時の応力状態を有限要素法によって解析し,薄膜/基板界面からの塑性開始条件について検討した.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-09-16
著者
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科
-
平方 寛之
阪大
-
平方 寛之
大阪大学大学院工学研究科
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
-
平方 寛之
阪大工
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
荻原 弘樹
大阪大院
-
平方 寛之
大阪大学
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