720 SiN薄膜微小機械要素のヤング率測定と強度評価(GS-3 弾性係数測定)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-17
著者
-
菅田 淳
広島大学大学院工学研究科
-
菅田 淳
広島大学大学院工学研究科機械システム工学専攻
-
菅田 淳
大阪大学大学院工学研究科機械システム工学専攻
-
箕島 弘二
阪大工
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科
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崎原 雅之
大阪大学大学院工学研究科
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崎原 雅之
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山崎 啓
阪大院
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菅田 淳
阪大工
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菅田 淳
広島大 大学院工学研究科
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
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