101 SiN薄膜の強度および破壊じん性評価(OS-1 薄膜・強度)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2010-03-16

著者

• 箕島 弘二

  阪大工

• 平方 寛之

  阪大

• 高橋 宏和

  阪大院

• 高橋 宏和

  大阪大学

• 箕島 弘二

  大阪大 大学院工学研究科

• 平方 寛之

  阪大工

• 川見 勇介

  阪大院

• 箕島 弘二

  阪大

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