ポリシリコン薄膜微小素子の曲げ負荷による機械的特性評価(OS2-3 先端材料システム,OS2 先端材料システム設計とメゾメカニックス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Evaluation of the mechanical properties of microelements is difficult because of the small size of the specimens. In this paper, a tensile testing machine and a bending testing machine for a microelement were developed. Tension-tension fatigue tests for polysilicon specimens have been carried out in various environments, but no specimen fractured within 107 stress cycles. Bending tests have been conducted by the system based upon a Nano Indenter with knife-edge type indenter and a piezo stage. Fracture stress obtained by the bending test was 3.9±0.5GPa, which was higher than the strength under tensile loading.
- 2004-07-20
著者
関連論文
- 微小引張試験片を用いた局所機械的特性評価法の開発と塑性加工材への適用
- 2314 高強度鋼の二段変動荷重下における超長寿命疲労特性と内部き裂進展挙動(S07-3 疲労強度,S07 構造材料の疲労強度とき裂進展問題)
- 815 絶縁皮膜層を有する軟磁性粉末冶金合金における疲労特性の密度依存性(GS-3 疲労強度)
- 818 高強度鋼の二段変動荷重下における超長寿命疲労特性と内部き裂進展挙動(GS-3・4 疲労き裂進展(1))
- 伸線強加工高強度鋼の疲労強度特性に及ぼす非拡散性水素の影響
- 3541 超微細粒粉末冶金アルミニウム合金の中高温環境下の疲労強度特性(S12-1 微細粒および結晶粒径の影響,S12 先進性金属材料の疲労特性と組織)
- 3505 伸線強加工高強度鋼の疲労強度特性に及ぼす水素吸蔵状態の影響(S20-2 水素チャージ材の強度特性,S20 材料強度特性に及ぼす水素の影響)
- 610 SiN薄膜マイクロエレメントの強度特性と寸法効果(OS10(2) 拡大する実験力学・新領域への拡大)
- 525 疲労き裂進展屈曲挙動のAFMその場観察と結晶方位解析に基づく検討(OS3(2) 疲労き裂進展)
- 322 疲労き裂進展屈曲機構の結晶方位解析に基づく検討(疲労の検出・評価・抑止II,疲労における機構と評価,オーガナイズドセッション1)
- 超微細粒P/Mアルミニウム合金の疲労き裂進展特性に及ぼす塑性予加工の影響
- 1110 高強度鋼の疲労特性に及ぼす水素吸蔵状態の影響(GS-3,4 材料の疲労)
- 720 SiN薄膜微小機械要素のヤング率測定と強度評価(GS-3 弾性係数測定)
- 715 銀デコレーション法による炭素鋼と高強度鋼の水素局在化分布の可視化(GS-3 材料力学における計測技術)
- P12 3%ケイ素鋼板の疲労き裂進展屈曲挙動のAFM観察とき裂先端近傍すべり量計測(疲労,ポスター講演3)
- 1345 高強度鋼における2段繰返し変動荷重下の超長寿命疲労特性(S22-1 高強度鋼,S22 ギガサイクル疲労)
- 1210 SiN薄膜の引張・曲げ強度特性に及ぼす微小欠陥の影響(S05-3 ナノ・マイクロ材料の強度・信頼性(3)ナノ・マイクロ材料の強度物性評価,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1132 押込み法と微小引張試験法による塑性加工材の局所機械的特性の評価(G03-1 材料力学(1)計測1,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 604 伸線強加工高強度鋼の疲労き裂発生寿命に及ぼす非拡散性水素の影響(環境,疲労破壊の防止と評価,オーガナイスドセッション1)
- 非拡散性水素吸蔵による伸線強加工高強度鋼の疲労強度低下と水素トラップサイトの活性化エネルギーの関係
- 2020 ナノインデンテーションにおける高強度鋼の変形特性に及ぼす水素の影響(S16-2 物理的・力学的現象,S16 インデンテーションの物理と応用)
- 2236 微小引張試験片を用いた塑性加工異方性の評価(S15-3 実験力学と材料評価(3),S15 実験力学と材料評価)
- 2316 微小切欠きを付与した伸線強加工高強度鋼の疲労強度特性に及ぼす非拡散性水素の影響(S07-3 疲労強度,S07 構造材料の疲労強度とき裂進展問題)
- 621 伸線強加工高強度鋼の疲労強度特性と非拡散性水素のトラップサイトの活性化エネルギーとの関係(高サイクル疲労II,オーガナイズドセッション1.疲労の計測・解析・評価)
- 414 押込み法による弾塑性特性の評価法(非線形特性評価,オーガナイズドセッション8.破壊の発生・進展とその解析・評価・計測)
- 404 高強度鋼のナノ変形特性と水素吸蔵量の関係(界面および微視構造の影響I,オーガナイズドセッション8.破壊の発生・進展とその解析・評価・計測)
- 301 水環境下における石英ガラス光ファイバの破壊に及ぼす人工微小欠陥と変動応力の影響(OS-3 ガラス・セラミックス材料)
- 伸線強加工高強度鋼の非拡散性水素吸蔵による疲労強度低下と伸線加工度の関係 (第258回[日本材料学会 腐食防食部門委員会]例会 Workshop 若手技術者による腐食・防食(15))
- 強加工共析鋼の疲労破壊特性に及ぼす水素吸蔵状態の影響 (第252回〔日本材料学会〕例会プログラム 主題 Workshop『若手技術者による腐食・防食(14)』)
- 非拡散性水素吸蔵条件下における伸線強加工高強度鋼の疲労き裂進展特性と脱離水素の可視化
- 909 押込み法による引抜き加工材の弾塑性特性評価(GS-3 検査・評価(3))
- 石英ガラス光ファイバの環境強度特性に及ぼす水環境と人工微小欠陥の影響(J09-2 光ファイバ・光利用,J09 知的材料・構造システム)
- ポリシリコン薄膜微小機械要素の引張強度特性評価
- 炭素繊維強化エポキシ樹脂/アラミドハニカムサンドイッチ材の衝撃破壊特性と衝撃後残存強度に及ぼす水環境効果
- 1034 Al 合金の動的環境ぜい化き裂進展のナノスコピックその場観察
- 604 ポリシリコン薄膜微小素子の機械的特性評価
- 304 モデルコンポジットによる繊維/樹脂界面の静的および動的破壊特性評価
- 201 顕微ラマン分光法を用いたアラミド単繊維/エポキシ樹脂モデルコンポジットの界面強度特性評価
- 939 アラミド繊維/エポキシ樹脂界面における疲労界面はく離進展特性
- 322 薄膜マイクロエレメント機械的特性評価システムの開発(薄膜の創成と特性評価-II)(一般セッション)
- 306 顕微ラマン分光によるアラミド単繊維引き抜き過程の繊維応力分布解析(繊維の応力評価・測定精度)(残留応力の評価と適用)(オーガナイスドセツション2)
- 626 昇温脱離水素分析による高強度低合金鋼の動的環境ぜい化き裂進展特性評価
- 623 高力 Al 合金の動的応力下における環境ぜい化き裂進展の AFM その場観察
- 614 薄膜マイクロエレメント機械的特性評価試験機の開発
- 203 多結晶シリコン微小素子の引張強度特性評価
- 103 疲労荷重下におけるアラミド単繊維/エポキシ樹脂の界面はく離進展に及ぼす湿潤環境効果
- マイクロシン/MEMSの現状と将来展望
- 737 動的応力下の水素ぜい化割れき裂のその場 AFM 観察
- 212 石英ガラスファイバの引張・疲労破壊に及ぼす水環境の影響
- 704 環境質制御動的応力下その場ナノ損傷解析装置の開発
- 112 日本材料学会標準S-N曲線回帰法による鉄鋼材料の疲労特性の検討(鉄鋼材料の疲労強度特性,疲労の機構と強度信頼性,オーガナイスドセッション1,第53期学術講演会)
- 713 SiN薄膜微小機械要素の強度特性に及ぼす微小切欠きと成膜条件の影響(GS-3 き裂)
- 707 伸線強加工高強度鋼の疲労き裂発生に及ぼす非拡散性水素の影響(GS-3 疲労・疲労き裂)
- 705 伸線強加工高強度鋼の疲労き裂進展挙動に及ぼす非拡散性水素の影響(GS-3 疲労・疲労き裂)
- 813 Vitamin E(D,L-α-Tocopherol)を添加した超高分子量ポリエチレンの人工関節部材としての特性(GS-2 生体材料,研究発表講演)
- 1723 炭素繊維強化樹脂/アラミドハニカムサンドイッチ材の衝撃と衝撃後圧縮破壊特性評価
- 406 炭素繊維強化樹脂/アラミドハニカムサンドイッチ材の衝撃・圧縮破壊特性と水環境効果(GS-11 複合材料(2))
- 9 アラミド単繊維/エポキシ樹脂界面破壊特性に及ぼす水環境効果
- K-0927 アラミド単繊維/エポキシ樹脂の界面破壊特性に及ぼす水環境効果とAE波解析(J05-4 物理特性・信頼性)(J05 複合材料の加工と評価)
- T0301-2-2 自己組織化TiO_2ナノチューブ集合薄膜の破壊特性(マイクロ・ナノの視点からの強度・力学特性評価)
- T0301-2-1 傾斜ナノコラム集合薄膜の摩擦特性の異方性(マイクロ・ナノの視点からの強度・力学特性評価)
- 304 ナノ塑性特性に及ぼす吸蔵水素の影響(GS-3 ナノ)
- 303 ナノ薄膜の界面からの塑性変形開始強度(GS-3 ナノ)
- 708 石英ガラス光ファイバの静的および動的環境強度特性に及ぼす人工微小欠陥と水環境の影響(GS-3 強度・破壊(2))
- 208 強加工高強度鋼の疲労強度特性に及ぼす水環境効果(OS-1 環境効果)
- 207 伸線強加工高強度鋼の疲労き裂進展特性に及ぼす非拡散性水素の影響(OS-1 環境効果)
- 927 高強度鋼のナノ変形特性に及ぼす吸蔵水素の影響(GS-3,4 環境・破壊,研究発表講演)
- 204 高強度低合金鋼のナノ変形特性に及ぼす水素の影響(GS2 ナノ23)
- 216 曲げ試験による薄膜微小素子のヤング率測定と有限要素解析(GS5 応力解析33)
- 819 半固形モールド粉体成形法における温度制御の効果(GS-4 構造体の作製,研究発表講演)
- 1314 超微細粒P/Mアルミニウム合金のき裂進展特性に及ぼす塑性予加工の影響(S21-1 軽金属の疲労,S21 金属材料の疲労特性と破壊機構)
- 120 超微細粒P/Mアルミニウム合金の疲労き裂進展特性に及ぼす塑性予加工の影響(微視組織と疲労強度評価III, 疲労の実際と最新の話題 微視組織と疲労強度評価)
- 1845 ポリシリコン薄膜微小機械要素の曲げ負荷によるヤング率測定と強度評価(J09-1 マイクロ構造・材料の強度評価,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
- 915 引張および曲げ応力下のポリシリコン薄膜微小素子の機械的特性と疲労挙動評価(GS-4,16 薄膜(1),研究発表講演)
- 114 ポリシリコン薄膜の結晶方位解析とヤング率の有限要素解析(セッション4)
- 顕微ラマン分光によるアラミド単繊維引抜き過程の繊維応力分布測定とFEM解析(OS4-2 精密試験,OS4 微視構造を有する材料の変形と破壊)
- ポリシリコン薄膜微小素子の曲げ負荷による機械的特性評価(OS2-3 先端材料システム,OS2 先端材料システム設計とメゾメカニックス)
- 819 高強度鋼の動的環境ぜい化き裂進展と昇温脱離水素分析(GS-3 動的特性)
- 818 高強度ステンレス鋼の動的環境ぜい化き裂進展のナノスコピックその場観察(GS-3 動的特性)
- 816 銀デコレーション法による水素局在化分布可視化手法の開発(GS-3 可視化計測)
- 112 高精度放電加工によるステンレス薄膜微小試験片の創製と機械的特性評価
- S0305-3-4 非拡散性水素吸蔵条件下における伸線強加工高強度鋼の疲労き裂進展に及ぼす応力比の影響([S0305-3]き裂進展)
- 1113 金属薄膜微小素子の非接触ひずみ測定と引張・疲労破壊特性(GS-3 計測・評価)
- 405 アラミド繊維一方向強化エポキシ樹脂の疲労破壊特性に及ぼす応力波形・水環境効果(GS-11 複合材料(2))
- OS1214 SiN薄膜の強度特性に及ぼす微小欠陥の影響(ナノ・マイクロからの視点からの変形と破壊の力学(2),オーガナイズドセッション)
- GS0401 低温焼鈍しを施した強加工共析鋼における非拡散性水素による疲労強度低下(GS04-01 環境強度・腐食1,GS04 環境強度・腐食)
- 301 アルミナ単繊維の疲労破壊に及ぼす湿潤ガス環境効果(GS-6 疲労(1))
- 706 アルミナ単繊維の破壊特性に及ぼす湿潤ガス環境の影響(GS-4・20 機械材料・材料加工(2))
- 101 SiN薄膜の強度および破壊じん性評価(OS-1 薄膜・強度)
- 225 水素可視化による疲労荷重下における非拡散性水素の挙動解析(GS-3 計測・検査(3))
- 201 押込み法による塑性異方性材料の応力-ひずみ曲線の推定(GS-3 計測・検査(1))
- 103 自立薄膜試験片を用いたサブμm厚Al膜のクリープ特性評価(OS-1 薄膜・強度)
- 119 ArFRP の疲労破壊挙動に及ぼす応力波形と水環境効果
- 106 自己組織化TiO_2ナノチューブ構造配列の強度特性(OS-1 ナノワイヤチューブ・超合金・ポリマー)
- 722 自立Cuナノ薄膜の疲労き裂進展の下限界特性(疲労き裂進展II,疲労損傷観察ならびに強度評価,オーガナイスドセッション1)
- 710 自立Cuナノ薄膜における疲労き裂進展特性(疲労荷重下の破壊I,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 402 アラミド単繊維の疲労強度に及ぼす応力波形・湿潤環境効果(GS-11 複合材料(1))
- 516 マルチスケールセルフアセンブリによるナノ複合構造の作製と力学特性評価(GS-3・4 材料創成・加工)
- 609 自立Cuナノ薄膜の破壊じん性の膜厚依存性(GS-3破壊力学・材料じん性)
- 515 斜め蒸着法により作製したTiナノ傾斜コラムの界面強度(GS-3・4 材料創成・加工)