203 多結晶シリコン微小素子の引張強度特性評価
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概要
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Evaluation of the mechanical properties of microelements is difficult because of the small size of the specimens. In this paper, a tensile testing machine for a microelement was developed using the glue grip and the double-field-of-view microscope. Using this system, the tensile strength and Young's modulus of polysilicon specimens have been measured. The tested part of the specimen is 250μm in length, 11μm in width and 3.8μm in thickness. The tensile strength measured was 2.2±0.2 GPa.
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
駒井 謙治郎
福井高専
-
友井田 亮
京都大学
-
横手 広樹
京都大学
-
箕島 弘二
京大工
-
駒井 謙治郎
京大工
-
田中 和人
京大工
-
横手 広樹
京大院
-
友井田 亮
京大院
-
友井田 亮
京都大学院
-
横手 広樹
京都大学院
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
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