614 薄膜マイクロエレメント機械的特性評価試験機の開発
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概要
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The micromechanical tensile testing system for a microelement has been developed. The system consists of a micromechanical tensile testing machine actuated by a PZT driven positioning stage, a micro manipulation system, a non-contact strain measurement system with a help of a double view microscope. Using the system, tensile tests of poly-Si microelement were successfully conducted, and the mechanical properties, including tensile strength and Young's modulus were measured.
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
駒井 謙治郎
福井高専
-
友井田 亮
京都大学
-
横手 広樹
京都大学
-
箕島 弘二
京大工
-
駒井 謙治郎
京大工
-
田中 和人
京大工
-
横手 広樹
京大院
-
友井田 亮
京大院
-
友井田 亮
京都大学院
-
横手 広樹
京都大学院
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
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