713 SiN薄膜微小機械要素の強度特性に及ぼす微小切欠きと成膜条件の影響(GS-3 き裂)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-14
著者
-
箕島 弘二
阪大工
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科
-
崎原 雅之
大阪大学大学院工学研究科
-
崎原 雅之
阪大工
-
高橋 宏和
阪大院
-
高橋 宏和
大阪大学
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
-
箕島 弘二
大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
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