103 自立薄膜試験片を用いたサブμm厚Al膜のクリープ特性評価(OS-1 薄膜・強度)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-16
著者
-
箕島 弘二
阪大工
-
崎原 雅之
大阪大学大学院工学研究科
-
崎原 雅之
阪大工
-
平方 寛之
阪大
-
箕島 弘二
大阪大 大学院工学研究科
-
平方 寛之
阪大工
-
味岡 彰一
大阪大学大学院工学研究科
-
味岡 彰一
阪大院
-
崎原 雅之
阪大
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