OS1212 酸化タンタル薄膜の弾塑性変形特性評価(ナノ・マイクロからの視点からの変形と破壊の力学(2),オーガナイズドセッション)
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概要
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酸化タンタル(Ta_2O_5)薄膜の変形特性を評価することを日的として,カンチレバー形状を有する試験片を薄膜から切り出し,曲げ試験を実施する.Ta_2O_5薄膜の弾塑性構成式はべき乗硬化則に従うものと仮定し,試験で得られた荷重-変位曲線と有限要素法を用いた逆解析から,薄膜のヤング率E,降伏応力σ_y,加工硬化指数nをそれぞれ130.4GPa,1969MPa,0.48と評価した.さらに,ナノインデンテーション試験を実施し,両試験から得られる弾塑性変形特性を検討した結果,ほぼ一致することが明らかとなった.
- 2008-09-16
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