B-11 半導体デバイスにおける微細 Al および Cu 配線の断線解析

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-29

著者

• 北村 隆行

  京大工

• 澁谷 忠弘

  京都大学大学院

• 澁谷 忠弘

  京大院

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