SR露光によるブレーズ型回折格子の作製(次世代伝送用ファイバ,機能性光ファイバ,フォトニック結晶ファイバ,ファイバ非線形現象,一般)
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概要
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SR露光によるリソグラフィーは、微細な高アスペクト比の3次元構造体を作製する有効な手法であり、そのレジスト構造体を母型とした電鋳金型を用いて樹脂成型品を作製するLIGA法は、微細成型品の量産技術として有効である。一方、光通信分野では3次元微細構造を有する回折格子が合分波器の構成部品の一つであり、メトロアクセス系に使用される場合は低コスト化が要求される。そこで、本研究ではLIGA法によるCWDM合分波器への適用を目指したプレーズ型回折格子の作製を目的とし、母型作製工程であるSR露光プロセスの最適化の検討結果について報告する。
- 2006-08-17
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
片山 誠
住友電気工業株式会社
-
永山 富男
京都市産業技術研究所工業技術センター
-
水谷 泰
京都市産業技術研究所工業技術センター
-
加藤 準一
中沼アートスクリーン株式会社
-
蟹江 智彦
住友電気工業株式会社 光通信研究所
-
森田 哲平
中沼アートスクリーン株式会社
-
外嶋 昇
中沼アートスクリーン株式会社
-
加藤 史樹
立命館大学
-
藤縄 伸哉
立命館大学
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
杉山 進
立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科
-
蟹江 智彦
住友電気工業
-
蟹江 智彦
住友電気工業株式会社
-
加藤 準一
中沼アートスクリーン
-
外嶋 昇
中沼アートスクリーン
-
永山 富男
京都市産業技術研究所
-
杉山 進
立命館大学
-
水谷 泰
京都市産業技術研究所
-
片山 誠
住友電気工業
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