SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法
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概要
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This paper presents a 5-axis motion sensor that can detect 3-axis acceleration and 2-axis angular rate capacitively. This sensor is fabricated by SOI bulk-micromachining, and is sealed vacuum by anodic bonding and activation of the non-evaporated getters. By applying Z-axis reference vibration of a proof mass with an electrostatic force at resonant frequency, 5-axis motions can be detected capacitively at non-resonant detection mode. How the resonant frequency of driving direction and detection direction of this sensor changed by size of the weight, beam width, beam thickness and beam length, was clarified. Three samples were made by this design method, and acceleration characteristic and angular rate characteristic were measured, and the effectiveness was shown.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-06-01
著者
-
杉山 進
立命館大学理工学部
-
渡部 善幸
山形県工業技術センター
-
峯田 貴
弘前大学理工学部
-
峯田 貴
山形工業技術センター
-
杉山 進
立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構
-
杉山 進
立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科
-
岡田 和廣
株式会社ワコー
-
角谷 哲哉
株式会社ワコー
-
松 良幸
株式会社ワコー
-
三井 俊明
山形県工業技術センター
-
岡田 和廣
(株)ワコー
-
角谷 哲哉
(株)ワコー
-
杉山 進
立命館大学
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